.subckt foo<>::INTSUB:0 GND @a _y en x
M0_ GND en @a GND nch W=5u L=2u
M1_ @a x _y GND nch W=5u L=2u
.ends
.subckt foo<> GND Vdd en x _y
xINTSUB:0:inst GND @a _y en x foo<>::INTSUB:0
M0_ GND _y z GND nch W=5u L=2u
M1_ Vdd _y z Vdd pch W=5u L=2u
.ends

xbar GND Vdd bar.en bar.x bar._y foo<>

